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視覺技術(shù)檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用,半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備管理應(yīng)用解析

2020-08-17 09:41:19 0

      隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)視覺檢測(cè)視覺檢測(cè)設(shè)備的需求將不斷增加,半導(dǎo)體行業(yè)提供了一個(gè)合適的機(jī)會(huì)。視覺檢測(cè)設(shè)備將被攝取目標(biāo)轉(zhuǎn)換成圖像信號(hào),傳送給專用的圖像處理系統(tǒng),根據(jù)像素分布和亮度、顏色等信息,轉(zhuǎn)變成數(shù)字化信號(hào);圖像系統(tǒng)對(duì)這些信號(hào)進(jìn)行各種運(yùn)算來抽取目標(biāo)的特征,進(jìn)而根據(jù)判別的結(jié)果來控制現(xiàn)場(chǎng)的設(shè)備動(dòng)作。半導(dǎo)體制造業(yè)是為高精度,高功率和零差錯(cuò)行業(yè)的需求。視覺檢測(cè)設(shè)備將被攝取目標(biāo)轉(zhuǎn)換成圖像信號(hào),傳送給專用的圖像處理系統(tǒng),根據(jù)像素分布和亮度、顏色等信息,轉(zhuǎn)變成數(shù)字化信號(hào);圖像系統(tǒng)對(duì)這些信號(hào)進(jìn)行各種運(yùn)算來抽取目標(biāo)的特征,進(jìn)而根據(jù)判別的結(jié)果來控制現(xiàn)場(chǎng)的設(shè)備動(dòng)作。由于現(xiàn)代加工技術(shù)的快速發(fā)展,越來越高的檢測(cè)的需求,普通技術(shù)人員檢測(cè)不能滿足要求,并且所述圖像處理是視覺檢測(cè),機(jī)械工程,控制照明光源,成像光學(xué)器件,傳感器,和模擬數(shù)字視頻技術(shù),計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)于一體的綜合技術(shù),恰好滿足了半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)試需求,可以快速,準(zhǔn)確地檢測(cè)執(zhí)行多種功能,起著半導(dǎo)體制造過程中的重要作用。

一、視覺檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)備進(jìn)行視覺檢測(cè)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的具體實(shí)際應(yīng)用:

半導(dǎo)體制造工藝可分為三個(gè)階段:前,中,后三個(gè)階段之后。在所有三個(gè)階段,對(duì)于制造過程的每一個(gè)部分的視覺檢測(cè)的外觀檢測(cè)裝置是必不可少的。前,在制造過程的中間,主要視覺檢測(cè)裝置用于在視覺上檢測(cè)精確定位和測(cè)試。分類制造晶片處理從所述印刷電路板,貼劑的上游切割端,是依賴于測(cè)量視覺引導(dǎo)和用于移動(dòng)定位部件的精度。沒有精確的定位,這是不可能產(chǎn)生的硅晶片。的中間半導(dǎo)體過程是最重要的部分,它也與最小刻度測(cè)量視覺檢測(cè)相關(guān)聯(lián)。如今,段制造工藝的視覺檢測(cè)的應(yīng)用很廣泛的方面。 BEOL一般涉及到晶片上,切割,包裝,測(cè)試過程的電測(cè)試。切割之前,設(shè)備必須由標(biāo)記和標(biāo)識(shí)晶片缺陷的視覺檢測(cè)來檢測(cè)到。切割探測(cè)過程完成后,所述視覺檢測(cè)系統(tǒng)需要精確的,快速的對(duì)準(zhǔn)定位。隨著基于預(yù)校準(zhǔn)技術(shù),視覺檢測(cè)技術(shù),強(qiáng)大的速度優(yōu)勢(shì)。

二、半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)備,視覺進(jìn)行檢測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用研究實(shí)例:

1.用于小型電子元器件和小型工業(yè)產(chǎn)品外觀測(cè)試,SMD產(chǎn)品外觀測(cè)試和硅片外觀測(cè)試。 檢測(cè)包括打印錯(cuò)誤,內(nèi)容錯(cuò)誤,圖像錯(cuò)誤,方向錯(cuò)誤,漏印和表面缺陷。 對(duì)被測(cè)物體表面進(jìn)行高速自動(dòng)拍攝后,將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行處理,發(fā)現(xiàn)缺陷產(chǎn)品。

圖2。 在芯片和電子連接器平面度檢測(cè)中的應(yīng)用。 檢測(cè)引腳的數(shù)量和引腳在多個(gè)位置的幾何形狀,包括間距,寬度,高度,曲面等。 實(shí)現(xiàn)連續(xù)、高效、快速的芯片外觀檢測(cè),提高檢測(cè)效率,節(jié)省勞動(dòng)成本,降低工人的勞動(dòng)強(qiáng)度,更重要的是保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性。